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产品1

热分析仪激光导热检测设备TM3B

型号:TM3B

适用产品:微小领域(yu)(微米(mi)等(deng)级(ji))和纳米(mi)薄(bo)膜等(deng)

测量项(xiang)目:热渗透率、(热扩散率)、(热传(chuan)导率)

重复精度:耐热玻(bo)璃、硅的热渗透率±10%以内

输入电(dian)源:AC 100V~1.5kVA

外形尺寸(W × D × H mm):730(W) x 620(D) x 560(H)mm

本体重量(liang)( kg):80kg



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产品应用

微小领域(微米等(deng)(deng)级)、纳米薄膜、Sic(单(dan)晶体、多晶体)、AIN等(deng)(deng)的测量(liang)。


激光(guang)导热(re)(re)仪检(jian)测设(she)备(bei)M3B主要是测量热(re)(re)物性值(zhi)中热(re)(re)渗透率的一种(zhong)设(she)备(bei),可以进行(xing)微小领(ling)域(微米(mi)等级)和纳米(mi)薄膜等的测量。

热分析仪激光导热检测设备TM3B的优势:

・ 激光(guang)导热(re)仪(yi)检测设(she)备是测量热(re)物性(xing)值中热(re)渗透(tou)率的一(yi)种设(she)备;

・ 可(ke)以通过点、线、面测量样品(pin)的热物性;

可测量微米等级的热物性值的分布;

・ 全球(qiu)首个非接触方(fang)式且高(gao)分(fen)辨率的热物性测量设(she)备;

检测光点径3μm、高分辨率来测量微小领域的热物性(点、线、面  测量);

可改变深度范围进行测量,从薄膜、多层膜到散装材料都可测量;

・ 基(ji)板上(shang)的样品也(ye)可测量;

・ 激光非接触式测量;

・ 可检测薄膜下的裂纹、孔隙(xi)、脱落(luo)等问题。


 主要规(gui)格


 名称/商品(pin)名 

   热物性显微镜/Thermal Microscope

 测(ce)量模式(shi)

   热物理性分布测量 (1次元・2次(ci)元・1点)

 测量项目  

   热渗透(tou)率、(热扩散率)、(热传(chuan)导率)

 检测光点径

   3μm

 1点测量标准时(shi)间(jian)

   10秒(miao)

 测(ce)量(liang)对象薄膜

   厚度 数百nm~数(shu)十(shi)μm

 重(zhong)复精(jing)度

   耐(nai)热(re)玻璃、硅的(de)热(re)渗透率±10%以内

 样品

   ・样品支架 30mm×30mm,厚(hou)度5mm,样品(pin)表面的镜面需要研(yan)磨(mo)

   板状样品30mm×30mm以内,厚(hou)度3mm以内(nei),样品表面需Mo溅镀 

 使用温度范围

   24℃±1℃(根据设备内(nei)部温度感(gan)应器)

 平台移动距(ju)离

   X轴方向20mm  方向(xiang)20mm   轴(zhou)方向10mm

 加热(re)用激(ji)光

   半导体(ti)激光波长:808nm

 检测用(yong)激光

   半导体激光(guang)波长658nm

 电源

   AC 100V~1.5kVA

 标(biao)准配件(jian)

   样品(pin)(pin)支架、基准样品(pin)(pin)

 *选项

   光(guang)学平(ping)台、空(kong)调机、空(kong)调用booth、spatter装置

 本体

   外形尺寸:730(W) x 620(D) x 560(H)mm  重量:80.0Kg

 电源箱

   外(wai)形(xing)尺寸:620(W) x 480(D) x 310(H)mm  重量:26.4Kg

  ※设备的性能以及外观有改善(shan)变更时,不会(hui)事先告(gao)知(zhi)。



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